联卓光电借助四探针方阻测试快速反推金属镀膜厚度，苏州晶格设备获当场签约
——ST2253A四探针电阻率测试仪高效完成金属镀膜方阻测试，助力无损测厚
近日，江苏联卓光电材料有限公司技术团队携带镀金属膜硅片样品来到苏州晶格电子有限公司，核心目标是通过金属镀膜方阻测量反推镀膜厚度。在金属薄膜工艺中，直接测量纳米级或亚微米级镀层厚度往往需要昂贵设备，而若已知材料的体电阻率，仅需测得方阻即可快速、无损地估算有效厚度——这正是此次测试的关键所在。
测试中，王工快速分批次对硅片表面金属镀膜进行多点方阻测量，数据稳定、重复性高。吴工同步解释：“对于已知材质的金属膜（如纯银、铝等），其体电阻率是固定的。只要精准测出方阻，就能用公式 t=ρ/Rst=ρ/Rs 快速算出有效厚度——这种方法成本低、效率高，非常适合产线快速筛查。”
联卓光电技术人员全程参与，并现场用测得的方阻值结合材料参数计算了膜厚。“结果和我们预期非常接近，而且测试过程非常快，测一组数据只要几分钟，”客户表示，“相比送样做SEM，这种方式太实用了。”
作为一款专业的四探针电阻率测试设备，ST2253A已广泛应用于光伏、半导体、锂电等行业领域，为客户提供高效、可靠的无损测厚解决方案。
